半導體電阻率測試儀是于各種半導體材料包括:片狀硅料、晶體、晶體等的電阻率測定的設備,測定范圍:0.01-199.99歐姆厘米，是生產廠家硅料分選測試的理想工具。
半導體電阻率測試儀采用通用的電流、電壓四端子測量法（兩個電流和電壓電極同時和樣品接觸），可以消除電極與導線導通電阻產生的誤差，克服了傳統(tǒng)的二端測量粉末電阻率儀器的弊病，可以真實地、準確地測量出粉末樣品的電阻率，因此重復性好。半導體電阻率測試儀測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，進行各種分析。
半導體電阻率測試儀技術參數(shù)：
電源：220V交流
可測晶片直徑（zui大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調，誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV
電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
測量精度：±0.1。
zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個字。
重摻檢測誤差（JJG508-87進行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環(huán)境：溫度23±2℃，相對濕度≤65%
